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2021-06-21







質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器,利用氣流流過(guò)毛細管,改變毛細管溫度分布,造成上下游溫差方法,而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計,其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應氣流瞬時(shí)流量, 所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測量和控制。



質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。



質(zhì)量流量計概述

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主要特點(diǎn)

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準確度高

3. 無(wú)直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類(lèi)

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi):一類(lèi)是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另質(zhì)量流量計一類(lèi)為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。